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中国科学院微电子研究所专利：基于红外气体传感器的水果成熟度检测系统
中国科学院微电子研究所 专利 红外 气体传感器 水果成熟度 检测系统
2023/7/11
中国科学院微电子研究所专利：基于红外气体传感器的水果成熟度检测系统
中国科学院微电子研究所专利：一种基于Zigbee协议的无线传感器网络结构维护方法及系统
中国科学院微电子研究所专利：基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法
中国科学院微电子研究所 专利 柔性衬底 气敏传感器
2023/7/10
中国科学院微电子研究所专利：基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法
中国科学院微电子研究所专利：生物传感器及其DNA测序方法
中国科学院微电子研究所专利：一种测量膀胱体积的系统、传感器及传感器的封装方法
中国科学院微电子研究所专利：一种传感器微弱信号通用检测芯片系统
中国科学院微电子研究所专利：集成纳米结构的薄膜型MOS气体传感器
近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心陈大鹏研究员课题组与中北大学熊继军教授课题组合作在表面增强拉曼（SERS）生化检测研究领域取得了阶段性进展。陈大鹏研究员课题组提出了一种开放式SERS液滴传感器，该传感器打破了传统基底型SERS器件所需的复杂制备工艺问题，利用烛灰纳米链结构的多孔易断性，以滚动的方式在基底上在形成了具有丰富三维“热点”的SERS活性液滴，从而大大增强该液滴的拉曼检测性能。液滴所...
近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心（十室）在传感器晶圆级键合封装技术研发领域取得重要进展，其针对三轴加速度传感器所开发的8英寸Al-Ge共晶圆片级封装技术（WLP）以及配套的减薄和划片技术已通过苏州明皜传感科技有限公司的质量体系考核，采用该系列技术的T4型三轴加速度产品已上市销售。
MEMS器件与传统IC器件相比，往往具有脆弱的可动结构，因此需要在MEMS器件划片与测试前将其保护起来。WL...