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设计了基于陶瓷基底的悬桥式微热板结构以解决硅微热板高温稳定性差的问题。分析了微热板的传热过程,并通过有限元工具对其稳态热响应特性及微加热器电极结构进行了模拟。采用常规微电子技术结合激光微加工技术,实际制作了基底厚度为100 μm,桥宽度为2 mm的微结构,并对结构的加热功率-温度关系进行了测试。结果表明:热板具有较好的高温稳定性,1.5 W加热功率可使板上平均温度达到630℃。将桥式微热板作为阵列...
一种阵列式小尺寸温度传感装置
热敏电阻 阵列式 温度分布 反馈隔离驱动
2014/4/28
为获得一定空间内的温度分布信息,本文研制一种阵列式小尺寸温度传感装置,采用阵列式微小热敏电阻进行温度传感,为尽量减少阵列中相邻传感器的相互耦合和干扰提出了一种反馈隔离驱动测量方法进行阵列电阻检测,并进行了接触温度传感试验。测试实验结果表明,所研制的阵列式小尺寸温度传感装置能较好地识别具有温度差异物体的外形,具有较好的空间分辨率。
阵列式压电晶体谷物损失传感器有限元分析与试验
阵列结构 敏感元件 模态分析 动态仿真
2009/1/14
为了提高谷粒损失检测的精确度与可靠性,提出了构建压电晶体矢量传感器阵列的方案,实现参数多点实时测量。采用有限单元法对谷草撞击动力学模型进行了分析;利用ANSYS软件,根据谷粒损失传感器敏感元件的实际尺寸进行建模,计算、仿真敏感元件的振动模态,求解敏感元件谐振频率;通过分析敏感元件低阶模态的动态应变分布,确定了矢量传感器阵列中压电晶体的位置和数量,优化了阵列结构。在试验台架上进行了谷草撞击试验,使用...
基于柔性阵列式电涡流传感器的球面层间间隙监测系统
电涡流传感器 间隙监测
2008/9/27
该发明涉及一种基于柔性阵列式电涡流传感器的球面层间间隙监测系统,属于精密测试技术领域。由传感器阵列线圈、前置电路、计算机数据采集和处理单元三部分组成;传感器阵列线圈由超薄柔性电涡流敏感线圈阵列和各线圈信号线及其地线相连形成一条公共地线组成的密排长电缆组成,前置电路包括由译码电路和模拟开关组成的多路模拟选通电路及与其相连的传感器信号变换及调理电路,以及电源模块;计算机数据采集和处理单元包括一台普通微...
一种基于微光机电系统的阵列式激光收发集成传感器
激光 传感器
2008/9/3
该发明涉及一种基于微光机电系统的阵列式激光收发集成传感器,其特点在于:该集成传感器包括框架、基片、单晶硅结构体、半导体激光器、光电探测器和玻璃片。通过微机械加工和微机械安装技术,将微型半导体激光器和半导体探测器通过特制的单晶硅结构件集成在同一块陶瓷或其他导热性能比较好的基片上,形成一个集成器件。半导体激光发射和接收单元成交错排列,即:每一个激光发射单元的四周均为激光接收单元,而每一个激光接收单元的...
阵列式柔性电涡流传感器
电涡流传感器 测量 间隙
2008/9/3
该发明涉及一种阵列式柔性电涡流传感器,包括用柔性印刷电路板工艺在薄膜基底上制作的按一定方式分布的敏感线圈阵列,与各敏感线圈相连的引出信号线与地线组成的引出电缆,多路选通开关,以及通过多路选通开关和所说的信号线与地线相连的克拉泼振荡电路。该发明具有结构纤薄、不易变形、温度性能好、一致性好,且基底为柔性状态,特别适合金属曲面和非金属曲面间的间隙测量。