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中国科学院微电子研究所专利:一种对互连结构进行电容提取的方法
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2023/7/10
中国科学院微电子研究所专利:化学机械研磨去除率计算的方法及设备
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2023/7/10
中国科学院微电子研究所专利:高效率射频电源的相位同步电路
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2023/7/10
中国科学院微电子研究所专利:标准单元库版图设计规则检查验证方法
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2023/7/10
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2023/7/10
中国科学院微电子研究所专利:电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
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2023/7/10