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中国科学院合肥物质科学研究院专利：厚膜压阻式三轴向加速度传感器
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 厚膜压阻 三轴向 加速度传感器
2023/12/21
中国科学院合肥物质科学研究院专利：厚膜压阻式三轴向加速度传感器
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种双e型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器
中国科学院声学研究所专利：一种高灵敏度的声表面波加速度传感器。
针对六维加速度传感器的输入、输出量较多，且其动力学方程的解耦参数难以辨识的问题，提出了“四步法”对并联式六维加速度传感器的25个解耦参数实施分组辨识。设计并加工了基于双曲柄滑块机构的标定平台，为参数辨识提供外部激励；在LabVIEW平台上开发了虚拟仪器，为参数辨识提供软件支持。在静态情况下对预处理后的采集数据求均值得到“零值漂移”，完成第一组参数辨识；将传感器安装在标定平台上做1~2 Hz的纯线性...
基于镜像异质三周期光子晶体介观压光效应的加速度传感器
光子晶体 介观压光 加速度传感器 有限元模拟
2014/4/18
本文利用镜像异质三周期光子晶体的介观压光效应，用其来代替传统压阻式加速度传感器中的压敏电阻膜，设计出一种新型的高灵敏度加速度传感器。该加速度传感器采用四端固定梁结构，有效的消除了偏轴效应，具有很好的稳定性，在室温下其可测量的加速度范围为0-137gn。利用ANSYS软件对所设计的光子晶体加速度传感器进行静态分析和模态分析。可以看出在悬臂梁根部具有最大的应变值，而且第一模态频率与其他模态频率相差较大...
中国微米纳米-接触式电容微加速度传感器的设计与分析
MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片
2014/4/16
设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构，建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在集中载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型，并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。
一种新型六维加速度传感器原理研究
六维 加速度传感器 压电 原理
2014/4/17
为克服现有六维加速度传感器的不足，提出并研究了一种单惯性质量块的压电式六维加速度传感器。介绍了传感器的结构和工作原理，推导了其数学模型，运用ANSYS有限元软件对传感器的灵敏度、维间耦合度、固有频率等特性进行了仿真研究。研究结果表明：该六维加速度传感器能够实现6维加速度的传感；各维间的耦合属于线性耦合，可通过简单的矩阵运算予以完全解耦；固有频率有望比现有3维线加速传感器或3维角加速度传感器提高3倍...
一种高灵敏度FBG加速度传感器设计与仿真
光纤光栅 加速度传感器 灵敏度 固有频率
2014/4/18
采用悬臂梁与垫高块结构，设计了一种高灵敏度的光纤光栅加速度传感器，光栅栅区两端固定在悬臂梁与垫高块之间，提高了传感器的灵敏度，避免了出现啁啾或多峰现象，推导了设计计算的力学模型；对传感器进行了过载安全保护设计、光栅预拉伸设计等；采用有限元分析计算得出了悬臂梁应变分布情况及6阶固有频率，证明分析结果与设计计算吻合。
单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析
加速度传感器 三轴 大量程 MEMS
2014/4/23
对设计的单片三轴MEMS大量程加速度传感器进行了马歇特锤冲击测试和Hopkinson杆冲击校准试验，得到了三轴加速度传感器冲击过载信号及其各轴向的横向灵敏度比、线性度等关键参数。测试结果表明该三轴传感器在受到117,395.95g以上的冲击信号作用时，传感器各轴仍然能够正常工作；其三轴轴向灵敏度均能达到0.1μV/g以上，各敏感轴受到轴向加速度时其线性度小于6%，轴间横向灵敏度比小于10%。
高g值加速度传感器的窄脉冲校准理论与方法
测试计量技术及仪器 动态校准 窄脉冲激励 高g值加速度传感器
2014/4/23
针对高g值加速度传感器动态特性校准中遇到的激励窄脉冲的宽度问题，提出了适用于高g值加速度传感器动态特性的窄脉冲校准准则。该准则给出了对不同谐振频率的高g值加速度传感器的动态特性进行校准时，校准所需的激励窄脉冲的最大脉冲宽度与传感器谐振频率的关系。依据该准则设计了窄脉冲校准系统，并对8309型高g值加速度传感器进行了校准实验。实验结果表明，该准则对于高g值加速度传感器频率响应特性的校准是有效的，按照...
三轴加速度传感器安装误差标定方法研究
加速度传感器 误差标定 欧拉定理 车辆姿态
2014/4/28
针对三轴加速度传感器在车辆行驶状态测量方面的应用，研究了三轴加速度传感器在车辆上的安装误差问题，提出了一种通过数学解算模型对安装误差进行标定的方法。标定过程无需借助其他测量仪器，只需要使用安装后的传感器进行多次测量，通过数学模型解算这组测量数据即可实现安装误差的测量与标定。通过实验验证，此方法方便效性，标定误差小于±3%。
硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试
MEMS加速度传感器 二维电容式传感器 体硅工艺 ICP深刻蚀
2014/4/22
设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器，并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明：该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致，线性度较好，交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/g、55.6 mV/g；线性相关系数分别为0.9968、0.9961，交叉灵敏度分别为6.17%、7.82%。
对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试，分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构，通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232119.4g下可以测试到有效输出信号。同时，对测试中失效传感器进行了分析，总结出大量程加速度传感器的在高冲击环境下的失效模式主要为键合引线的脱落、微梁的断裂和封装失效。