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大连理工大学黄辉教授课题组发明了无漏电流“纳米线桥接生长技术”，解决了纳米线器件的排列组装、电极接触及材料稳定性问题，研制出高可靠性（8个月电阻变化率<0.8%）、低功耗（可室温工作）及高灵敏度（NO2检测限0.5ppb）的GaN纳米线气体传感器，该传感器可推广至生物检测以及应力应变检测等，实验结果发表在国际纳米领域顶级期刊“Nano Letters” 。
水参数的测量是水资源保护和海洋科学的基础，水温与电导率这两个联系紧密的物理量是其中的重要参数；集成传感器芯片的研制对环境保护、工农业生产活动及科学研究具有重要意义。目前已有的高精度CTD测试系统，均是采用传统的机械加工方法将分立传感器组装在一起而形成的，工艺较为复杂，仪器间容易形成较大的随机加工误差且造价昂贵。本文采用MEMS技术将温度传感器与电导率传感器集成在一个小芯片上，实验验证了集成芯片具有...
机器人补偿式光纤距离方位集成传感器
传感器 机器人
2008/9/22
该项目开发了一种机器人光电接近传感器，具体是指一种机器人补偿式光纤距离方位集成传感器。该传感器由光源单元；分布在两个正交平面上的五根光纤构成的光纤传感头单元；光电转换单元；信号处理单元；微处理器系统及输出单元等五个部分构成。该传感器可以消除光源输出功率波动和目标物体表面反射率变化对传感器性能的影响、抗干扰能力强、结构简单、成本低。
一种基于微光机电系统的阵列式激光收发集成传感器
激光 传感器
2008/9/3
该发明涉及一种基于微光机电系统的阵列式激光收发集成传感器，其特点在于：该集成传感器包括框架、基片、单晶硅结构体、半导体激光器、光电探测器和玻璃片。通过微机械加工和微机械安装技术，将微型半导体激光器和半导体探测器通过特制的单晶硅结构件集成在同一块陶瓷或其他导热性能比较好的基片上，形成一个集成器件。半导体激光发射和接收单元成交错排列，即：每一个激光发射单元的四周均为激光接收单元，而每一个激光接收单元的...