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本实用新型涉及硬质薄膜残余应力测量技术,具体地说是一种硬质薄膜残余 应力测试仪,解决精确测量硬质薄膜的残余应力等问题,该测试仪包括激光器、 半透镜、光感器,激光器的入射激光束与半透镜倾斜设置,半透镜的另一侧设置 有拱形试片。试片因单面薄膜应力产生弯曲,通过测定试片曲率半径可以计算相 应的薄膜应力。采用He-Ne激光器产生入射光束,依次经由半透镜的透射及试片 表面的反射到达光感器(四象限硅光电池接收...
中国科学院合肥物质科学研究院专利:钛酸锶钡薄膜材料及制备方法
中国科学院合肥物质科学研究院专利:P型铜铁矿结构透明导电氧化物薄膜的制备方法
中国科学院深圳先进技术研究院专利:石墨烯薄膜及其制备方法
本发明涉及一种无损、无污染的纳米碳质薄膜的图形化方法,属于电子器件制备领域。该方法预先在基体材料上制备单、双层金属或金属担载陶瓷薄膜的图形,然后在该预图形化的基体上沉积纳米碳质薄膜,最后利用湿法刻蚀去除预制的单层金属图形直接剥离附着在其表面的纳米碳质薄膜,或通过底层金属的刻蚀在剥离其担载的金属或陶瓷薄膜的同时去除附着于预制图形表面的纳米碳质材料,保留与基体直接接触的薄膜形成相应的图形,从而实现了纳...
薄膜异质结光电功能材料的制备科学、功能机理和正电子过程研究。
中国科学院上海应用物理研究所专利:外加电场测试台架及薄膜测试平台
中国科学院工程热物理研究所专利:谐波法微/纳米薄膜热物性测试方法
中国科学院物理研究所专利:一种用于薄膜截面样品的制备和转移的装置

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