搜索结果: 1-15 共查到“知识库 仪器科学与技术 MEMS”相关记录63条 . 查询时间(0.146 秒)
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李昕欣团队采用基于MEMS芯片的气相原位透射电镜（TEM）表征技术，探究了Pd-Ag合金纳米颗粒催化剂在MEMS氢气传感器工况条件下的失效机制（图1）。2022年4月13日，相关研究成果作为Supplementary Cover论文，以In Situ TEM Technique Revealing the Deactivation Mechanism...
MEMS低频压电振动能量采集器
压电能量采集器 微机电系统 传动梁
2014/10/15
设计了基于微机电系统（MEMS）的一阶、二阶传动低频压电振动能量采集器，通过压电效应将低频振动能量转化为电能来解决低频（小于200 Hz）振动环境中的能量采集问题。一阶传动能量采集器模型包括一阶传动梁及压电悬臂梁，二阶传动能量采集器模型包括一阶传动梁、二阶传动梁及压电悬臂梁。数学建模及有限元分析显示：采集器工作频率随一阶、二阶传动梁及压电悬臂梁材料的杨氏模量的减小均呈单调递减的趋势；传动梁的设计可...
谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装
p谐振式压力传感器 绝缘体上硅（SOI） 阳极键合 真空封装
2014/6/10
为了提高传感器的品质因数，有效保护谐振器，提出了一种基于绝缘体上硅（SOI）-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统（MEMS）压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术（DRIE），分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜；然后，通过氢氟酸缓冲液腐蚀SOI晶圆的二氧化硅层释放可动结构。最后，利用精密机械加工技术在Pyrex玻璃圆片上制作空腔和电连接通...
谐振式压力传感器闭环拓扑结构对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。针对一种典型结构的静电驱动电容检测MEMS谐振式压力传感器，在分析工作原理的基础上，构建了其混合信号模型。基于该模型搭建了自激振荡、自动增益控制、锁相环和带AGC的自激振荡四种闭环拓扑结构。在混合信号仿真平台下，对四种拓扑结构在起振状况、自动频率跟踪特性、抗冲击性和频率稳定性四个方面进行了仿真比较。结果表明，锁相环闭环拓...
基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势,以及国内外相关技术的发展现状,最后总结智能灰尘系...
提出了一种基于相关向量机的MEMS陀螺仪随机漂移预测方法。针对MEMS陀螺仪随机漂移误差的非线性、不确定性等特点，建立了相关向量机预测模型，并采用EM算法获得模型的参数。针对随机漂移的混沌特性，利用相空间重构技术，将重构后的漂移序列作为输入变量进行模型的训练和预测。训练和测试结果均表明，该方法具有很好的预测效果，优于常用的时间序列分析法和支持向量机法。利用预测结果对随机漂移进行补偿，有效地提高了陀...
基于MEMS加速度计的倾斜姿态角传感器设计
MEMS 加速度计 倾斜姿态角传感器 单片机C8051F047 温度补偿
2016/9/29
针对应用领域中判断水平面及水平面夹角的问题，设计一种倾斜姿态角传感器。把MEMS 加速度计 SCA103T-D04 与C8051F47 单片机组合在一起，对MEMS 加速度计输出信号进行调理和AD 采集，单片机C8051F047 完成数据分析和温度补偿，并通过CAN 总线通讯接口和RS232 通讯接口输出倾斜角度值，输出周期为200 ms。该 倾斜姿态角传感器测量精度为0.03°，测量范围为–6°...
针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1/f噪声，提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz，实现对磁场的DC/AC转化，从而减小了磁阻元件的1/f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制作了磁场传感器样品，并进行了实验测试，结果表明：磁传感器样品的调制效率达到了19.3%，超过了已有的其他各种调制方案，同时低频磁场的探测能力达到120pT/√Hz...
气体识别研究中，传感器的性能漂移问题始终是最具挑战的问题之一。为了减少漂移对气体识别的影响，本文利用动态分类器集成技术，针对基于MEMS技术的气体传感器阵列，提出了气体识别方法。本方法主要关注对气体样本在任意浓度下的定性分析。该方法基于支持向量机（SVM）分类器，首先利用在不同时间段采集的数据分别训练SVM分类器，再利用各分类器对不同时期数据的最优权值，估计拟合函数的参数；然后利用拟合函数，根据数...
根据微型航姿测量系统各传感器的特点，研究出了一种基于磁传感器输出的MEMS陀螺标定方法，并根据MEMS陀螺误差参数模型设计相应的补偿算法，分别对MEMS陀螺的零偏和标度因数误差进行了补偿。与传统标定方法相比，该方法实现简单，适用于现场标定。实验结果表明，该标定方法能够有效地提高MEMS陀螺测量精度，补偿后陀螺在静态条件下2分钟内，俯仰角漂移小于0.035°，倾斜角漂移小于0.15°，航向角的漂移小...
半捷联MEMS惯性测量系统电磁干扰抑制技术研究
高旋弹药 半捷联 电磁干扰 惯性测量
2014/4/17
本文针对半捷联MEMS惯性测量系统中电磁干扰问题提出了具体抑制措施。本文在介绍半捷联惯性测量系统工作原理及结构组成的基础上，分析系统集成后电磁干扰来源，并通过屏蔽、接地及滤波等技术使得该系统电磁兼容，从而提高系统的测量及控制精度，以达到在高速旋转情况下为微惯性测量单元提供稳定减旋环境的目的。
MEMS传感器随机误差分析及处理
MEMS传感器 随机误差 Allan方差 小波变换
2014/4/17
MEMS传感器的精度限制了其应用范围，为减小MEMS传感器随机误差的影响，提高其精度，对其随机误差进行分析和处理具有重要意义。本文首先采用Allan方差法分析了MEMS陀螺仪和加速度计的主要随机误差。然后基于Allan方差分析结果，发现从时频角度，采用小波变换分析传感器的随机误差，可以对零偏，有色噪声，白噪声进行了有效分离。最后通过对小波降噪方法的探讨，发现小波分析具有分离、减小随机误差的优势。
一种基于MEMS惯性传感器的手势识别方法
手势识别 特征提取 微惯性传感器 人机交互
2014/4/18
随着手机等移动电子设备的发展，应用于嵌入式平台的基于MEMS惯性传感器的手势识别成为一个研究热点。提出了一种简单有效的手势识别方法：通过分析手势的运动学特征，提取手势的加速度和角速度信号特征量，截取手势信号段，利用决策树分类器进行预分类，根据手势信号的变化规律识别具体的手势。该方法在20位实验者中获得了96%的平均准确率，手势识别时间小于0.01S。实验结果表明该算法在嵌入式平台下能快速准确地识别...
MEMS微机械陀螺温度特性分析与建模
MEMS 陀螺 温度特性 零偏 误差补偿
2014/4/16
针对MEMS微机械陀螺的零偏随温度变化波动较大的特性，通过建立MEMS陀螺零偏随温度变化之间的误差模型，在温度范围为-20℃~60℃温箱试验下，分析MEMS陀螺的零偏输出变化，经去除野值后使用建立的误差模型对零偏进行补偿，结果表明，MEMS陀螺仪因温度引起的零偏从最大约为160°/h，经补偿后降至约为10°/h。该温度误差模型使MEMS陀螺的全温区零偏特性得到了一定程度的提升，为提高之后的导航精度...