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日前,通过近两年的努力,国内第一个低温可充气真空辐射系统由中科院微电子所硅器件与集成技术研究室(一室)研制成功。
该低温测试系统由一室可靠性测试小组的刘刚、毕津顺、曾传滨等科研人员自行设计完成,其极限真空<10-7Pa,12小时静态漏气<0.1Pa,气体充气能力为1Pa—1MPa,液氮温度连续实验时间>5小时。