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仪器科学与技术 台阶轮廓测量仪
”
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台阶轮廓测量仪
（图）
台阶轮廓测量仪
光学
变焦系统
薄膜工艺
2023/8/8
中文名称：
台阶轮廓测量仪
，主要功能：常用附件：大尺寸200mm真空吸样台，光学变焦系统 主要用途：用于
测量
轮廓
、
台阶
高度、膜厚、薄膜应力 主要应用领域：光电子器件、半导体器件、薄膜工艺、厚膜工艺。
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