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中国科学院合肥物质科学研究院专利：硅微机械两维倾角传感器芯片及制作方法
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 硅微机械 两维倾角 传感器芯片
2023/12/12
中国科学院合肥物质科学研究院专利：硅微机械两维倾角传感器芯片及制作方法
地下隧道变形检测的无线倾角传感器
微光机电系统(MEMS) 无线传感器网络 倾角传感器 温度补偿 数字滤波
2014/3/11
设计了一种无线倾角传感器来检测地下隧道的结构变形，并研究了该无线倾角传感器所采用的温度补偿和数字滤波算法。首先，根据地下隧道结构特点，结合微机电系统（MEMS）技术和无线传感器网络技术，给出无线倾角传感器的硬件结构，并描述了传感器实现无线通信和可视化上位机界面的软件设计流程。然后，针对地下隧道温度变化大、振动扰动频繁等因素，分析其对传感器精度的影响，实现了对无线倾角传感器的温度补偿。最后，通过对传...
气体摆式倾角传感器是一种新型传感器，它的工作介质是气体，敏感元件是热敏丝。这种传感器可用于坦克、舰船和机器人的姿态测控系统，也可广泛应用于测井斜、房屋建筑等工程中。它具有测量范围宽、响应快、精度高、寿命长和成本低等优点。在重力场内，密度大的气体下沉，密度小的气体上浮。利用热敏丝加热空气，其周围空气密度减小，由于浮力的存在，热空气上浮，热气流力图保持在竖直向上方向，这就形成一个具有单摆特性的“气体摆...
CJRS-B型二维气体摆式倾角传感器
倾角传感器 敏感元件
2008/10/27
CJRS-B型二维气体摆式倾角传感器能代替两个垂直安装的CJRS-A型气体摆式倾角传感器。它不仅抗振性能好、测量范围宽、响应快、精度高、寿命长和成本低，交叉耦合亦很小，使用方便。可广泛应用于坦克、船舶、车辆、机器人和雷达的姿态控制系统。
本实用新型属倾角传感器，特别涉及一种电容式倾角传感器，主要由壳体、电介液和端盖组成，用绝缘导线制成A、B测量电极为尺寸相同的圆弧形，公共电极制成半径小于A、B测量电极半径的圆弧形，A、B测量电极的公共电极均固定在端盖同一个圆心两个不同半径上。该电容式倾角传感器结构简单，易于制作，节省电极材料，比同体积板形电容倾角传感器灵敏度高百分之三十。
该实用新型专利是一种测量倾角的新型传感器。该传感器主要由臂梁、固支垫片、质量块等构成。它采用厚膜技术，在靠近县臂梁根部位置的A、B面分别安装4个厚膜应变电阻，固支垫片和悬臂梁根部连接，将零点补偿网络接入惠斯顿全桥，安装铅或铅质量块，形成厚膜倾角传感器。该传感器性能稳定、工作温度范围宽、功耗小、成本低、易于批量生产、应用面广。
基于MEMS技术的微型硅倾角传感器研究
微型硅倾角传感器 数字水平仪
2008/9/18
微型化、集成化、陈列化和多功能化是各类传感器的发展趋势，而MEMS技术则为实现该目标提供了一种及其有效的加工手段。采用MEMS技术中的硅微机械加工技术并结合标准IC工艺，通过合理设计，在同一块硅片上可研制出多个微型倾角传感器。一旦大批量生产，传感器的成本可大大降低，并且该种传感器体积小、重量轻，与信号处理电路配接后即可组装成廉价的便携式数字水平仪，具有很强的市场竞争力。该成果的总体研究思路是：通过...
膜电位倾角传感器是利用重力对流体的作用引起膜电位变化的原理制成的新型惯性传感器，它具有高灵敏度、宽动态范围及结构简单、成本低等特点，可广泛用于机器人、坦克，汽车、舰船、飞机、机械、石油勘探、钻井、建筑以及其他各种需要测量倾角的领域。
该项目“气流式倾角传感器”属敏感电子学领域。广泛用于机器人、工业自动控制，以及导弹、舰船的检测和控制系统。该项目论证了气流式倾角传感器的原理结构；确定了气流式倾角传感器的结构和制作工艺；采用一体化设计的二维敏感元件和新型集成化检测电路简化了信号处理电路；利用软件补偿技术，对传感器的零位电压、线性度和灵敏度进行了数字化补偿；建立了全方位信号提取模型，设计了双垂直腔三丝结构二维敏感元件、双腔体双敏感丝...
气体摆式倾角传感器是一种新型传感器，它的工作介质是气体，敏感元件是热敏丝。该种传感器可用于坦克、舰船和机器人的姿态测控系统，也可广泛应用于测井斜、房屋建筑等工程中。它具有测量范围宽、响应快、精度高、寿命长和成本低等优点。
Accustar电子式倾角传感器(单轴)；量程：±60°；精度：±1%；工作温度：-30°-65℃；输出：比率/模拟/数字；AccustarⅡ双轴倾角传感器：量程：±20°； ±30°；非线性：±2%单调；工作温度：-40°-85℃；0-65℃；DP-45数字角度显示仪：量程：45°；非线性：±1%(读数)；工作温度：0-65℃；电子式倾角测量系统：倾角传感器+数字显示；量程：45°；非线性：±1...
采用倾角传感器的水田激光平地机设计
2007/8/10
研制的采用倾角传感器的激光平地系统用于南方水田土壤的平整。平地机具通过三点式悬挂机构与拖拉机相连接，用左右两个油缸实现升降，由普通三位四通电磁换向阀控制油缸，分别采用激光与倾斜传感器实现平地机具左右侧升降控制。试验结果表明，采用倾角传感器的水田激光平地机在水田的平整精度能基本满足农艺要求。
英文摘要：
Laser leveling ...