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中国科学院大连化学物理研究所专利:一种平板式离子迁移谱
中国科学院大连化学物理研究所 专利 平板式 离子迁移谱
2024/1/26
考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型
Pull-in MEMS 边缘效应 微执行器
2014/4/29
在MEMS执行器的设计中,求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,对漏电场不能忽略的平行平板式静电微执行器,通常只能采用有限元法数值求解。但是,有限元法繁琐、费时、不直观。平行平板电容器漏电容解析模型通常有两种:一种简单的;一种详细的。基于这两种漏电容解析模型,本文分别导出了它们对应的Pull-in失稳方程,并将求解结果与ANSYS耦合场分析结果做了对比。结果表明,基于详细漏电容...
一种新型平板式压电六维力/力矩传感器及仿真实验
压电传感器 力/力矩传感器 有限元 六维
2014/4/30
针对弹性体式六维力/力矩传感器存在的瓶颈矛盾,提出了一种新型平板式压电六维力/力矩传感器。首先,介绍了传感器的结构和工作原理。然后,推导了传感器的数学模型,建立了传感器的有限元模型。最后,得到了传感器输出的电荷灵敏度、维间干扰、固有频率、载荷传递系数、退耦矩阵等重要参数。研究结果表明:传感器结构简单合理、数学模型正确、加工工艺性好、线性度好、刚度高、固有频率大于25KHz、使用退耦矩阵后的维间干扰...