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1-1
共查到
“
物理学 纳米工艺
”
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中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种
纳米工艺
晶体管总剂量辐射效应在线测试方法
中国科学院新疆理化技术研究所
专利
纳米工艺
晶体管
辐射效应
2023/11/30
本发明涉及一种
纳米工艺
晶体管总剂量辐射效应在线测试方法,属于半导体器件抗辐射性能测试技术领域,包括辐照前转移特性曲线测试、辐照前阈值电压提取、辐照偏置条件确定、在线辐照测试、漏端电流与阈值电压关系的提取、在线测试数据处理的步骤。本发明仅进行一个偏置电压的电流测试即可获得器件阈值电压信息,进而实现
纳米工艺
晶体管的高采样率测试。解决了
纳米工艺
晶体管总剂量辐射效应测试存在的辐射损伤信息量少,不能获得参数...
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