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搜索结果: 1-1 共查到“仪器科学与技术 多靶材溅射系统”相关记录1条 . 查询时间(0.145 秒)
中文名称：多靶材溅射系统,主要性能指标：三个3英寸靶枪； 配有不锈钢真空室，尺寸为18英寸*18英寸*12英寸； 配有可加温至400℃(故障)，可旋转的6英寸工作台； 极限真空可抽至<5e -7mbar 。 cu，ni，al，ti，cr，wu，pd。。。

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