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为了满足大口径光学元件表面疵病的光学检测需求，设计了一款具有四自由度的疵病检测仪。该检测仪采用4个独立驱动装置进行控制，基于坐标系矩阵变换的理论对该疵病检测仪的运动学进行了分析与解算，得到了末端检测物镜的轨迹坐标与各驱动位移的关系，同时得到了各随动运动与主动运动之间的关系曲线。采用虚拟样机仿真软件ADAMS对运动学解算结果进行仿真验证，得到了各驱动装置的位移-时间曲线。最后，通过ANSYS Wor...
