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共查到
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仪器科学与技术 沉积参数
”
相关记录1条 . 查询时间(0.124 秒)
沉积参数
对磁控溅射CrNx膜结构和性能的影响
直流磁控溅射
CrNx膜
沉积参数
结构与性能
2010/5/7
本文采用非平衡直流磁控溅射方法制备CrNx薄膜，研究
沉积参数
对膜结构和性能的影响。结果表明
沉积
过程中增加N2的分压，薄膜的组成由Cr2N相转变成CrN相，膜的表面形貌也由胞状转化为正四面体。增加样品台的负偏压，
沉积
膜层更加致密，表面更加平坦。
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