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中国科学院深圳先进技术研究院专利：一种应用于超声换能器和传感器的压电元件及其制造方法
近日，国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“MEMS超声换能器元件及传感器”项目启动暨实施方案论证会在重庆大学顺利召开。该项目由珂纳医疗科技(苏州)有限公司牵头，联合重庆大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、西安交通大学、中北大学、华东光电集成器件研究所、中科院微电子所、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所和杭州娃哈哈精密机械有限公司进行协同攻关。