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中国科学院深圳先进技术研究院专利：电容式超声传感器及其制备方法
中国科学院深圳先进技术研究院 专利 电容式 超声传感器
2023/11/23
中国科学院深圳先进技术研究院专利：电容式超声传感器及其制备方法
中国科学院深圳先进技术研究院专利：电容式超声传感器芯片及其制作方法
中国科学院深圳先进技术研究院 专利 电容式 超声传感器芯片
2023/11/22
中国科学院深圳先进技术研究院专利：电容式超声传感器芯片及其制作方法
电容式微加工超声传感器结构参数对性能的影响分析
电容式微加工超声传感器(cMUT) 塌陷电压 谐振频率
2014/5/14
介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的工作原理，通过理论计算和有限元仿真分析，讨论了cMUT中薄膜厚度、薄膜半径、薄膜残余应力和空腔厚度的变化对传感器的塌陷电压和谐振频率的影响，为传感器的设计和制作提供了依据。
利用阵元异振幅优化超声传感器阵列的指向性能
超声波 指向性 阵元异振幅 传感器阵列
2014/5/14
超声传感器阵列是提高超声指向性性能的重要手段，本文提出利用阵列中阵元发射不同振幅超声波的方法进一步改善发射阵列的指向性性能。通过数值计算与常规阵元同振幅发射模式的指向性进行模拟比较，结果表明该方法在超声阵列阵元分布形式完全相同的情况下，获得的超声波波束不但能保证主瓣尖锐的指向性，而且能有效的抑制旁瓣数量和旁瓣级，避免能量分散，提高超声发射效率。
电容式微超声传感器的电极参数优化设计
电容式微超声传感器(cMUT) 吸合电压 静态电容 机电耦合系数
2014/5/6
建立了电容式微超声传感器(cMUT)的有限元模型，通过对模型进行静电-结构耦合仿真分析，研究了金属电极的结构参数包括电极面积、电极厚度、电极材料以及电极相对与薄膜的位置等参数的变化对传感器性能的影响。分析了电极参数与传感器吸合电压，静态电容，机电转换比以及机电耦合系数的关系，最后得到了优化的电极结构参数，即金属电极面积为传感器振动薄膜面积的一半时，传感器具有较低的吸合电压和较大带宽值及机电耦合系数...
项目简介：浓度和粘度分析仪的工作原理基于超声波在液体中的传导速度。目前研制的超声波传感器已经能够成功用于血液浓度和粘度的检测，并达到了较高的精度；对于发酵行业而言，超声波传感器同样可以用于溶液浓度与粘度，细胞密度的测量。特别是在啤酒的酿造过程中，必须频繁测量酵母浓度等发酵参数，以保持质量的稳定，满足啤酒口味一致的要求。在以往的生产过程中，酵母浓度的测量往往采用离线称重或光密度法，该种人工分析的方法...
机械手避碰超声传感器研究
机械手 超声传感器
2008/9/18
该成果是以双机械手协调运行避碰为背景的多探头超声测距防碰系统，是面向机器人控制专题的双臂协调安全而设计的，可实际对作业中机械手周围物体监测、识别、预警。它具有近距离、小盲区、高灵敏超声探头利用迭层弯曲振动模式设计，先进的集成超声收/发模块与超声探头组成灵巧的测距单元，多个测距单元围绕手臂组成环状阵列，多角度、宽范围地监测，丰富的算法软件融合多个测距单元信息，全方位获取设定距离范围内的障碍信息，并根...
微加工静电超声传感器的工作机制与理论模型
超声传感器 静电 微加工
2008/9/16
该项目研究的主要内容是：对常规机械加工的V型槽传感器提出空气弹簧支撑的板模型；对微加工的U型槽传感器，该研究进一步计及了膜片张力和微米级气隙的影响，揭示了静电负刚度的作用，提出了空气弹簧支撑的张力板模型，准确预测了传感器的机电声行为；对坑阵式背板纹理的传感器，提出了三维描述的空气弹簧支撑的张力板模型的一般理论，揭示了硅超声传感器的复杂工作机制，从而解决了三大基本类型的静电超声传感器的工作机制问题...