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搜索结果:
1-1
共查到
“
仪器科学与技术 CrNx膜
”
相关记录1条 . 查询时间(0.11 秒)
沉积参数对磁控溅射
CrNx膜
结构和性能的影响
直流磁控溅射
CrNx膜
沉积参数
结构与性能
2010/5/7
本文采用非平衡直流磁控溅射方法制备
CrNx
薄膜,研究沉积参数对膜结构和性能的影响。结果表明沉积过程中增加N2的分压,薄膜的组成由
Cr
2N相转变成
CrN
相,膜的表面形貌也由胞状转化为正四面体。增加样品台的负偏压,沉积膜层更加致密,表面更加平坦。
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