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近日,中国科学院微电子所刘新宇研究员团队以PEALD 沉积SiN作为栅介质,成功研制出高性能毫米波MIS-HEMT,并通过远程等离子体预处理(RPP)技术,在EC - ET > 0.4 eV条件下, 界面态密度达到了6×1011 cm-2 eV-1~2.1×1012 cm-2 eV-1,实现了低界面态密度,减小了器件的关态泄漏电流,保证了器件具有良好的阈值电压稳定性。与常规HEMT器件相比,MIS...