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搜索结果:
1-1
共查到
“
仪器仪表技术其他学科 SiC
”
相关记录1条 . 查询时间(0.125 秒)
SiC
抛光片表面氧化行为的XPS、SEM研究
XPS
氧化行为
SiC抛光片
2008/5/9
本文利用扫描电子显微镜和X光电子能谱研究
SiC
抛光片表面氧化行为,发现
Si
面比C面的氧化更显著,产生更多的氧化产物,提出利用扫描电子显微镜和X光电子能谱来鉴别
SiC
晶片的
Si
面和C面的新方法。
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