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搜索结果: 1-1 共查到仪器仪表技术其他学科 SiC相关记录1条 . 查询时间(0.088 秒)
本文利用扫描电子显微镜和X光电子能谱研究SiC抛光片表面氧化行为,发现Si面比C面的氧化更显著,产生更多的氧化产物,提出利用扫描电子显微镜和X光电子能谱来鉴别SiC晶片的Si面和C面的新方法。

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