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中国科学院化学研究所专利:一种半原位XPS样品转移装置
本文利用扫描电子显微镜和X光电子能谱研究SiC抛光片表面氧化行为,发现Si面比C面的氧化更显著,产生更多的氧化产物,提出利用扫描电子显微镜和X光电子能谱来鉴别SiC晶片的Si面和C面的新方法。
XPS表征类金刚石膜探讨     金刚石膜  XPS       2008/5/9
介绍X射线光电子能谱(XPS)分析类金刚石(DLC)膜的原理与方法,探讨分峰拟合计算时参量设定对分析结果的影响,改进拟合方法,拟合结果更准确,结果的一致性好。
通过改变XPS探测掠角,对硅表面的氧化层和富锗氧化硅表层薄膜样品进行非破坏性深度剖析测量,得到了有意义的结果。本文详细介绍了这一原理,并对这一分析方法的深度分辨等进行了讨论,为进行其它类型的薄膜XPS深度剖析测试提供了借鉴。
本文利用XPS方法对受海水浸泡的镀锡马口铁进行了表面分析。结果表明,经海水浸泡及在海水蒸气下放置的镀锡马口铁表面都会受到不同程度的污染。同时也表明,XPS作为一种重要的表面分析技术将会在商品检验和产品检验中得到有效地应用。
本文用原子力显微镜(AFM),研究常用固化模具材料玻璃、有机玻璃(PMMA)和塑料制作的PDMS盖片的表面特性。并用XPS分析PDMS表面的化学组成,表明在优化的PDMS芯片制作条件下, PDMS芯片的自粘粘合力取决于盖片的表面粗糙度。
本文用XPS分析紫外光激发氧化反应后砷化镓表面的化学组成和氧化层厚度。发现, 紫外光激发下, GaAs表面生成氧化膜,同时清除表面污染碳。氧化膜中的镓砷比可以 与基体完全保持一致。用此方法获得具有一定的化学稳定性的,适合于器件制备的钝化层 。发现紫外光激发的砷化镓表面氧化反应的实质是光催化反应。用“紫外光/臭氧处理法” 处理的GaAs晶片,可使器件性能得到改善。
本文介绍了新型角分辨XPS电子能谱的构造、特点,及其应用。
本文用Na_2S·9H_2O的水溶液及乙醇和异丙醇溶液对GaAs表面进行了钝化处理;用X射线光电子能谱仪(XPS)对钝化表面的化学组成和价态以及钝化层的厚度进行了研究。结果表明,经不同的Na_2S溶液处理后GaAs表面的自然氧化层会被除去,表面生成硫化镓和硫化砷;硫化物的含量与硫化层厚度与所用溶液的极性有关;并对钝化机理进行了探讨。

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