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用于微机械器件在Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能
微机械 Fe-Ni合金电镀沉积膜
2008/7/31
结合Si体微机械技术和电镀技术加工出Fe-Ni/Cu/Si复合悬臂梁, 其中Fe-Ni膜厚3μm, Cu膜厚0.2μm, 利用共振法首次测出在1.3Pa气压下, 复合悬臂梁中Fe-Ni(Fe64, Ni36, 质量分数%)电镀沉积膜的内耗为10^-3, 利用自行设计的微力/微位 天平法, 测出Fe-Ni(Fe57, Ni43)/Cu/Si复合悬臂梁的Young‘s模量为1.9×10^11N/m^2...