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SPR传感芯片的理论与实验研究
表面等离子体共振 光纤传感器 折射率 共振波长
2014/5/15
针对光纤SPR（表面等离子体共振）传感器制作工艺复杂的问题，提出了一种光纤先固定后部分镀膜的SPR传感芯片的制作方法。依据电磁场和射线理论，分析并讨论了此种波长调制部分镀膜SPR传感芯片的工作原理，采用MEMS制作工艺对探测光纤进行封装固定以后，再对光纤进行部分镀膜，其结构简单，工艺性好，易于实现批量化。最后，搭建了一套基于波长检测的光纤SPR测试系统对其进行测试。实验结果表明：在折射率范围为1....