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理学
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信息科学与系统科学
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系统评估与可行性分析
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搜索结果:
1-1
共查到
“
系统评估与可行性分析 微系统
”
相关记录1条 . 查询时间(3.36 秒)
中国科学院上海
微系统
与信息技术研究所研究出科学测量分析用谐振悬臂梁MEMS高端芯片(图)
科学测量分析
谐振悬臂梁
MEMS
高端芯片
2020/9/24
近期,该所传感技术国家重点实验室李昕欣团队将谐振微悬臂梁集成于透射电镜(TEM)原位微反应器芯片中,实现了原位实时的热力学/动力学特性分析与参数测量,并与TEM窗口观测成像功能配合,首次实现了电镜中实时构效关联的纳米构筑过程分析与测量功能(图1)。论文发表在领域顶级刊物Nano Today上:Wei Li, Ming Li, Xueqing Wang, Penghceng Xu, Haitao Y...
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