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PMMA在LIGA技术中的应用
2007/7/28
期刊信息
篇名
PMMA在LIGA技术中的应用
语种
中文
撰写或编译
撰写
作者
陈永明,伊福廷,陈传福,彭良强,习复
第一作者单位
中国科学院化学研究所,中国科学院高能物理研究所
刊物名称
微细加工技术
页面
2001(4)36
出版日期
2001年
月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
用于“毫微技术“的新型光致抗蚀剂的研究