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上海交通大学精密仪器及机械学科设立于1958年,1975年建成精密仪器系。1978年惯性技术及其导航设备被批准为硕士点,1979年精密仪器与机械被批准为硕士点,1990年测试计量技术及仪器建成硕士点。1986年惯性技术及其导航设备建成我国航海领域唯一的博士学科点,1996年精密仪器及机械建成博士学科点,2000年获“仪器科学与技术”一级学科博士学位授予权,2003年建成博士后流动站。
东南大学仪器科学与工程学院所属学科专业创建于1960年,原名陀螺仪及导航仪器专业,于1961年开始招收研究生。1981年和1984年被国务院学位委员会先后批准设立“精密仪器及机械”和“测试计量技术及仪器”两个硕士学位授权点。1990年被批准设立“精密仪器及机械”博士学位授权点。1992年5月为了适应学科发展需要,从自动控制系分出成立了仪器科学与工程系。2006年9月学校批准成立仪器科学与工程学院。
中国科技大学于1978年成立精密机械与精密仪器系。设有精密仪器及机械工学硕士点和工学博士点、测控技术与仪器、机械电子工程工学硕士点;设有机械工程和仪器仪表工程硕士点。现有教职工60人,先后承担了国家同步辐射加速器和大天区多目标光谱望远镜两项国家大型科学工程中的有关研究工作,还承担了国家自然科学基金、各部委、大中型企业的有关科研项目。

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