搜索结果: 1-2 共查到“仪器科学与技术 MEMS加速度传感器”相关记录2条 . 查询时间(0.082 秒)
MEMS加速度传感器（KA1000）
加速度传感器 MEMS
2008/10/14
该产品是由一块SENSOR芯片与信号调理电路ASIC芯片键合后，封装在金属管壳内的MEMS硅微机械加速度传感器。传感器SENSOR芯片是在Si片上以表面微加工工艺制造而成的梳齿式电容加速度传感器，从SENSOR芯片传出的信号通过信号调理电路ASIC进行调理，ASIC可根据不同的量程范围，调整出对应的灵敏度及偏置，并具有传感器自检、带宽和时钟频率调整等功能。MEMS加速度传感器不仅具有常规MEMS...