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一种RF MEM电感及其LC低通滤波器的模拟和设计
平面MEM电感 LC低通滤波器 等效电路模型 MEMS
2014/5/14
本文模拟并设计了一种基于表面微机械加工的平面MEM电感，提出了它的等效电路模型并给出模型中参数的提取方法。由模拟结果验证了该等效电路具有较高的精度，误差在8%以内。设计的一个3.6nH的平面MEM电感的品质因数超过20，自谐振频率超过15GHz。由平面MEM电感构成的5阶LC低通滤波器的-3dB带宽为3.7GHz，0～3GHz内的插入损耗低于1dB。
Development of Broadband Low Actuation Voltage RF MEM Switches
RF MEM space-based reconfigurable antenna integrated circuit applications
2010/12/7
Low insertion loss, high isolation RF MEM switches have been thought of as one of the most attractive devices for space-based reconfigurable antenna and integrated circuit applications. Many RF MEMS s...