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基于Fabry-Perot腔阵列的集成化微型光谱仪方案及模拟
微型光谱仪 Fabry-Perot腔
2009/10/26
提出了一种微型光谱仪，该微型光谱仪基于法布里-珀罗腔滤波性的阵列式微型光谱仪。其基本结构是在硅基底上实现多个不同腔长的阵列，从而实现对多个波长的监测。探测单元即为一个法布里-珀罗腔，由硅基底-金属薄膜-二氧化硅层-金属薄膜构成。进行了相应的模拟计算，结果表明在基本结构为铝膜(14 nm)-SiO2-银膜(39 nm)的情况下，通带半宽度可达到15 nm，单个探测单元面积仅为0.14 mm×0.14...