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基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势,以及国内外相关技术的发展现状,最后总结智能灰尘系...
柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺
减阻蒙皮 柔性MEMS 微气泡 微凹坑 SU-8胶 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
2014/3/24
提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统(MEMS)蒙皮技术,研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结构,提出了两种基于MEMS工艺的制作方法。分别采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8胶材料制作了微凹坑阵列层,并对其关键工序进行了实验研究。以SU-8胶为微凹坑阵列材料制作了柔性MEMS蒙皮样件。所制样件中,圆柱形驻气凹坑的直径...
面向石化等重要行业的MEMS压力传感器制造技术与实用化研究
压力传感器 MEMS
2008/12/8
该课题的成果就是针对石油化工、军事领域、能源电力以及汽车等行业对压力传感器的特殊需求，解决MEMS压力传感的批量制造与实用化技术难题。该成果推动我国目前压力传感器的研究工作在以上重要行业尽快实现商品化和产业化，成为产业发展和经济增长的新起点。该项目的产业化开发工作各方面进展顺利。产业化所需要的批量生产技术问题已全部解决。在前期小批量生产的基础上，进一步完善了有关产品结构、质量、检测和生产所涉及的流...