搜索结果: 1-1 共查到“仪器科学与技术 Pull-in”相关记录1条 . 查询时间(0.09 秒)
在MEMS执行器的设计中，求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中，对漏电场不能忽略的平行平板式静电微执行器，通常只能采用有限元法数值求解。但是，有限元法繁琐、费时、不直观。平行平板电容器漏电容解析模型通常有两种：一种简单的；一种详细的。基于这两种漏电容解析模型，本文分别导出了它们对应的Pull-in失稳方程，并将求解结果与ANSYS耦合场分析结果做了对比。结果表明，基于详细漏电容...
