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室温工作HSGFET高灵敏度03传感器的研究
传感器 HSGFET 室温工作
2008/9/11
本研究利用气敏场效应和敏感膜与O3作用引起膜材料功函数变化的机制，研究室温下对O3有高灵敏度响应的HSGFET（Hybrid Suspened Gate FET）型半导体O^3传感器。悬浮栅与FET转换器分别制作与测量，然后合二为一成传感器。研究了多种结构的悬浮栅和多种不同组分敏感膜及其特性，并组合成多种不同结构的HSGFET型O3传感器。该传感器在20-31℃的工作温度范围内，对O3的响应灵敏度...