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中国科学院理化所飞秒激光直写双刺激协同响应的水凝胶微致动器研究取得新进展（图）
飞秒激光 水凝胶 仿生学
2023/6/28
在自然界中生物能够对外界刺激做出反应并产生特定的形状变化，这种响应行为对生物体的生存和繁衍至关重要。在众多材料中，水凝胶因其模量适中，刺激响应条件多样以及生物相容性好等因素而引起了极大的关注。随着仿生学以及材料科学的发展，能够感知和响应外部刺激的智能水凝胶致动器在软体机器人、传感和远程操控等领域显示出良好的应用前景。目前，微加工技术已经将响应型水凝胶致动器的尺寸缩小到微米级。然而，如何在微尺度下构...
二维（2D）半导体材料为将摩尔定律扩展到原子尺度提供了机会。与传统基于蒸镀和光刻技术的加工技术相比，印刷电子因其成本效益、灵活性以及与不同衬底的兼容性而受到广泛关注。然而，目前印刷的二维晶体管，受到性能不理想、半导体层较厚和器件密度低的制约。同时，大多数二维材料油墨通常使用高沸点溶剂，随之而来的问题包括器件性能退化、高材料成本和毒害性等，难以大规模应用。因此，发展简单且环保的策略对于制造低成本、大...
中国科学院理化技术研究所飞秒激光直写三维无机纳米结构研究取得新进展（图）
飞秒激光 直写 三维无机纳米结构
2023/1/10
三维（3D）无机纳米结构的精确可控制备技术是近年来的研究热点，在航空航天、微电子器件、量子芯片、太阳能电池和结构材料等领域发挥着至关重要的作用。无机材料前驱物容易结晶，导致难以一次性直接制备3D无机微纳结构。激光3D打印技术是制备三维无机微结构的重要手段之一，但是在制备无机微结构时，其特征尺寸和加工分辨率受到材料和光学衍射极限的限制，难以实现纳米尺度制备。器件的微型化、集成化和3D立体化对3D无机...
山东大学物理学院陈峰团队实现离子束直写的二维集成元器件（图）
二维材料 离子束材料改性 整流
2021/11/9
二维材料近些年得到了科学界和工业界的广泛关注，被认为是有可能成为新一代半导体集成电路的重要基础材料之一。然而，目前已报道的二维材料半导体器件制备工艺复杂，尚无法实现完全的自动化生产。在本工作中，陈峰、谭杨团队在聚焦离子束二维材料改性的研究基础上，提出了一种利用聚焦离子束直写制备二维材料二极管的新方法，并利用其实现了在整流电路、高频滤波电路和逻辑门等电路中的实际应用。该工作使用聚焦离子束在二硒化钼/...
二维精雕，游刃有余：一种二维材料图案化的直写加工技术(图)
二维材料 图案化 雕刻技术 加工
2021/8/18
二维材料具有原子级厚度和非常高的比表面积，并且由于所有原子处于表面导致其表面对表面吸附和外界环境十分敏感。二维半导体材料在电子学与光电子学器件领域具有广阔的应用前景，有望取代硅成为下一代小型化电子器件的核心材料。为了实现此类应用，首先需要对材料进行剪裁。通过常规的微纳加工技术，包括光刻和反应离子干法刻蚀或者化学溶液湿法腐蚀，可以对其进行加工剪裁。然而在这些加工步骤中，二维材料需要接触光刻胶、溶剂以...
研究了利用电纺直写技术进行图案化微纳结构可控喷印沉积的方法，该方法利用喷头与收集板之间的稳定直线射流来实现有序纳米纤维的直写制造。分析了电纺直写射流在静止收集板和移动收集板上的沉积行为；探究了工艺参数对电纺直写微纳结构定位误差的影响规律。实验显示：在内部应力和电荷排斥力的作用下，射流会产生弯曲螺旋从而引导纳米纤维在静止收集板上逐层叠加形成三维微结构；提高收集板运动速度可克服射流螺旋鞭动，获得无螺旋...
全视差合成全息图的激光直写拍摄
合成全息 全视差 激光直写 图像处理
2010/9/26
为了实现可白光下再现的全视差拼接合成全息图，结合图像处理技术、合成全息图的原理，提出一种激光直写拍摄技术.实验得到了具有57°的较大观察视场的数字合成全息图，并实现了1×1 m2大面积拼接.
一种二元整形元件激光直写方法的实验研究
二元光学 衍射 位相编码 激光直写
2008/1/2
为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件，提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法，通过双远心投影缩微光路获得5-20 μm方点，光点尺寸对应于最小位相单元，从而获得了位相结构的高质量直写.分析了高斯光点和方光点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响，方形两台阶二元整形元件的+1级衍射效率达到31%，给出了实验结果.
激光直写光刻中线条轮廓的分析
激光直写光刻 曝光量 线条轮廓
2007/12/9
考虑了光刻胶对光吸收作用,在已有描述胶层内光场分布模型的基础上,较为准确地推导出光刻胶层内不同深度位置的光场分布.使用迭代方法计算得到了胶层内曝光量空间分布曲线,分析了不同曝光量下胶层内的线条轮廓,为直写光刻中曝光量的选择提供了依据.实验结果分析与理论分析的结果一致.
极坐标激光直写系统原点定位的实验研究
2007/8/20
分析了旋转线性光栅法对准光轴与旋转机械轴中心的理论准确度,实验研究了极坐标激光直写系统的原点定位.在极坐标激光直写系统下进行了圆环线条写入实验,得出了原点定位的准确度,原点定位准确度优于0.5 μm,实验与理论定位准确度基本一致.